真空ポンプについてのQ&A

Question

クリーンな真空排気が可能なポンプは何ですか?

あるばっくん

Answer

ドライポンプは、油蒸気の逆流が起こることがないので、クリーンな排気が可能です。クリーンルーム内で使用する場合には、クリーンルームのレベルに応じて、排出気体をダクトなどで室外に排気する、ポンプをボックスにいれて密封するなどの方法を考慮するとより効果的です。
ただし、ボックス内部の温度が上昇しないように、換気をする必要があります。