真空ポンプについてのＱ＆Ａ

Question

初歩的な質問で恐縮なのですがどこかの文献で"半導体関連の装置において運転中のポンプそのものを一定の温度に加熱しておく必要がある"というのを目にしました。ポンプの種類なども記憶していません。

そこで質問なのですが、どのような種類のポンプで、なぜ加熱しておく必要があるのかご教授ください。もし私の目にした内容が間違っているのであればご容赦ください。よろしくお願いします。

あるばっくん

Answer

真空ポンプ．comにお問合せ頂きましてありがとうございます。
ご質問の件ですが、半導体製造装置では様々な種類のプロセスガスを装置内に流して反応させて素子構造を作りますが、残りのガスは真空ポンプにより装置外の排ガス処理装置に送られ処理されます。ところがこのガスは装置内の高温雰囲気ではガスとしてポンプ側に送られますが、途中の真空配管や真空ポンプ内の温度の低い面に接触すると
凝縮して固体化してしまいます。
その固体生成物が配管内や真空ポンプ内に堆積していくと配管の詰まりやポンプの性能劣化、故障の原因となります。
それを防ぐ為に、配管、真空ポンプを加熱してガスの固体化を防ぎ排ガス処理装置に送るのです。
ポンプの種類としては主にドライポンプなどが対照になります。
この様なご説明でよろしいでしょうか？