真空ポンプについてのQ&A

Question

ターボ分子ポンプを使用する際に、アルゴンベースでガスを流したときの
排気速度はどのくらい下がりますか?
出来れば、計算式等がわかるとありがたいのですが・・・

あるばっくん

Answer

ご質問ありがとうございます。

ターボ分子ポンプは多岐多彩なプロセスに使用される様になり、排気特性に関わる数値はターボの設計個々で異なります。
したがって計算式はありません。
一般的にはカタログのN2排気速度に対し、以下の減衰となるでしょう。
1)保護金網による排気速度の減衰6〜10%
2)Arガス排気による排気速度の減衰8〜10%
また、Arを排気できる流量・圧力限界も機種毎に異なりますので、御使用には注意が必要です。

以上、よろしくお願い致します。