Question
ターボ分子ポンプを使用する際に、アルゴンベースでガスを流したときの 排気速度はどのくらい下がりますか? 出来れば、計算式等がわかるとありがたいのですが・・・
Answer
ご質問ありがとうございます。
ターボ分子ポンプは多岐多彩なプロセスに使用される様になり、排気特性に関わる数値はターボの設計個々で異なります。 したがって計算式はありません。 一般的にはカタログのN2排気速度に対し、以下の減衰となるでしょう。 1)保護金網による排気速度の減衰6〜10% 2)Arガス排気による排気速度の減衰8〜10% また、Arを排気できる流量・圧力限界も機種毎に異なりますので、御使用には注意が必要です。
以上、よろしくお願い致します。
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