スパッタイオンポンプ

　超・極高真空の発生に利用される代表的なポンプの一つです。陽極と陰極で構成されたセル（ポンプセル）に電場を印加する簡単な動作原理のため、駆動部がなく音や振動の発生がありません。また、溜め込み式のポンプで、定常運転時、補助ポンプ無しの単独で排気を行います。広く分析機器や加速器などに使用されています。


	加速器、超・極高真空排気装置、分析機器、電子線照射装置　など

ポンプの構造上、機械的な可動部分が無いため、騒音や振動が起こることがありません。そのため、広く分析機器、加速器などの分野に利用されています。

長所	短所
超・極高真空が得られる、機械的振動や騒音がない、完全オイルフリー、取り付け方法を選ばないなど	大流量のガスの排気が困難、動作範囲が高真空からとなるため、粗引きがき必要


ポンプケース、磁石ヨーク、陽極と陰極で構成されたセル（ポンプセル）、そこに電場を印加する簡単な構造	１）一次電子の生成● ２）一次電子の螺旋軌道３）一次電子とガス分子●の衝突による二次電子と　　イオンの●の生成４）イオンが陰極に衝突し、チタン原子●をたたきだす５）チタン原子が活性ガス分子を吸着し、イオンは　　陰極内に捕らえられる

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