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半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、 低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥 など |
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| 長所 | 短所 |
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10KPa〜0.1Paにおいて排気速度を飛躍的に増大 |
逆流がある |
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ケーシング内にある2個のマユ型ロータが、その軸端の駆動ギアに入り互いに反対方向に同期回転するようになっています。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間の空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。 |  |
メカニカルブースターポンプの詳細情報なら
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