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真空ポンプ.com > 真空ポンプの基礎知識 > 油拡散ポンプ
ノズルから噴出する高速、高密度の油蒸気ジェット流で吸気口から 拡散現象で入り込んだ気体分子に排気口に向けた運動量を与えて排気すると共にジェット流が吸気口への気体分子の逆流を妨げます。
FPD製造装置・半導体製造装置・真空蒸留・精製脱ガス・殺菌・乾燥 脱水・消毒 など
油拡散ポンプは、油を加熱して蒸気を発生させるためのボイラー、決まったの方向に蒸気を噴射するため傘のように構成されたノズル(ジェット)、蒸気を凝縮する低温な側面によって構成されています。 構造が単純であるにも関わらず、大きな排気速度を得ることでも知られています。 単独での使用はできず、かならずフォアポンプとして油回転真空ポンプなどの併用が必要です。
構造が単純で大きな排気速度が得られる
ノズルから高真空側に逆流してくる油蒸気の存在
本体底部にある油がヒータにより加熱され蒸気となります。その蒸気がジェット部より超音速で噴射することによって、気体は上段のジェットより下段のジェット部に押し込まれるように排気口に運ばれます。 蒸気となって噴射した油は本体の内壁で冷却、凝縮された後にもとの油となって加熱部に戻ります。
油拡散ポンプの詳細情報なら
機械的ポンプのひとつであり、経済性、 操作性に優れたポンプです。
油回転真空ポンプなどの粗挽きポンプとの組合せによって…
油や液体を真空室内に使用しない機械式 の真空ポンプです。
ダイアフラムの往復運動を利用して排気 を行う真空ポンプです。
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拡散ポンプのような蒸気(スチーム)を噴射する仕組みの真空ポンプです。
排気すべき気体が分子流領域にあるとき 最も有効に作動するポンプです。
クライオポンプのように低温による気体 の凝縮を利用するポンプです。
チタンを用いて排気を行い超高真空を 生成することのできる真空ポンプです。
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他の真空ポンプに比べ排気速度が大きく ことが注目されているポンプです