ダイアフラム真空ポンプ

ダイアフラム真空ポンプは、ダイアフラムの往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。最近の半導体製造産業、エレクトロニクス機器産業の急速な発展に伴って、ダイアフラム真空ポンプの需要も拡大傾向を示しています。


	真空排気、真空濃縮、ろ過、脱ガス脱泡、真空チャック、フィルム吸着、包装機械、光学機械、真空ピンセット、医療用機械、印刷機械　など

　ダイアフラム型ドライ真空ポンプは、油や液体を使用しない機械式真空ポンプで、特に油蒸気などによる汚染がないクリーンな雰囲気を要求される用途に最適なポンプです。

長所	短所
オイルを使用していない為、クリーンな排気ができる	高真空が得られない

　偏芯軸(ロータ)が回転することにより、コネクティングロッドを通じてダイアフラムに動力を伝えます。ダイアフラムが上下運動を繰り返すことによって、吸気口から排気口へ気体を輸送する仕組みになり、クリーンな排気を実現しています。
また、それぞれの口に弁が取り付けられており、常に同じ方向に空気を輸送することができます。

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