Q1　ターボ分子ポンプを使用する際に、アルゴンベースでガスを流したときの排気速度はどのくらい下がりますか？
Q2　初歩的な質問で恐縮なのですがどこかの文献で "半導体関連の装置において運転中のポンプそのものを･･･
Q3　高温（200℃）の環境下で真空引きをしたいのですが、どのようなものが必要ですか？
Q4　クリーンな真空排気が可能なポンプは何ですか？
Q5　真空排気で、粗引きと本引きとありますが、これは何ですか？
Q6　真空ポンプから排気音は出ますか？出る場合、音を消す対策はありますか？
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