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真空ポンプ.com > 真空ポンプの基礎知識
アルバック機工株式会社 株式会社アルバック
機械的ポンプのひとつであり、経済性、操作性に優れたポンプです
油回転真空ポンプなどの粗挽きポンプとの組合せによって…
株式会社アルバック
油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。
アルバック機工株式会社
ダイアフラムの往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
タービン型の翼をもつロータ(動翼)およびステータ(固定翼)からなる分子ポンプです
拡散ポンプのような蒸気(スチーム)を噴射する仕組みの真空ポンプです。
排気すべき気体が分子流領域にあるとき最も有効に作動するポンプです。
クライオポンプのように低温による気体の凝縮を利用するポンプです。
チタンを用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。
超高真空の発生に利用される代表的なポンプの一つです。
アルバック・クライオ株式会社
他の真空ポンプに比べ排気速度が大きいことが注目されているポンプです
